Cílem praktika je prověření znalostí z oblasti magnetronového naprašování a seznámení se s běžným používaným technickým zařízením.
Cílem úlohy bude procvičení znalostí v oblastech:
- Čerpací systémy
- Měření tlaku (včetně směsí plynů)
- Napouštění plynů a řízení průtoku
- Princip rozprašování a magnetronového rozprašování
- Seznámení se s měřením tlouštěk profilometrem
- Seznámení se s měřením elektrické vodivosti 4bodovou metodou
- Naprášení tenké vrstvy kovu (cínu) a analýza tloušťky a elektrické vodivosti
- Naprášení tenké vrstvy oxidu (oxid cínu) a analýza tloušťky a elektrické vodivosti