Cílem praktika je prověření znalostí z oblasti diodových plazmových výbojů a jejich využití pro tvorbu plazma polymerů.
Cílem úlohy bude procvičení znalostí v oblastech:
- Čerpací systémy
- Měření tlaku (včetně směsí plynů)
- Napouštění plynů a řízení průtoku
- Napouští par a práce s monomerem (n-Hexan)
- Princip diodového RF plazmatu
- Měřením tlouštěk profilometrem
- Vliv RF výkonu na polymeraci
- Vliv pracovního plynu na polymeraci