Určení periody vrypu difrakční mřížky

Nastavení měření:

1. na      skenovací hlavu připojte nástavec pro skenování na vzduchu, vložte do něj      hrot
2. otevřete      program AverTV a Nova 1443, otevřete záložku Aiming a nalaďte maximální      intenzitu laseru (laser by měl být umístěn v horní třetině      cantileveru – kontrola pomocí kamery)
3. vycentrujte      odražený paprsek laseru na střed fotodiody
4. nastavte      skenování v semikontaktním módu
5. v settings zvolte calibrations a vyberte Load calibrations
6. zvolte      skener, který budete při dané úloze používat a požadovaný druh prostředí      (dry/liq)
7. v záložce      Resonance nastavte rezonanční      frekvenci a amplitudu cantileveru
8. nastavte      Set Point, hodnota Set Pointu by      měla být 0,7 – 0,5 násobek hodnoty Magnitudy
9. vložte      vzorek do skeneru a zvedněte stolek až téměř k rastrovací sondě
10. proveďte      přiblížení cantileveru ke vzorku pomocí tlačítka Landing v záložce Aproach
11. v záložce      Scan nastavte velikost skenované      oblasti 10μm, skenovací rychlost 1Hz, jako mód skenování zvolte Semicontact Topography, velikost      skenu pak upravte dle potřeby

Vyhodnocení měření:

1. v záložce      Data vyberte obrázek, který      budete analyzovat
2. zmáčkněte      tlačítko Analysis
3. pro      určení vzdálenosti mezi jednotlivými vrypy rozbalte záložku Average, použijte funkci Average FFT, vyberte osu X nebo Y      podle toho, v které ose chcete měření provést
4. vyhodnoťte      tvar a maximum peaku
5. pro      určení hloubky vrypu rozbalte záložku Statistics,      použijte funkci Histogram
6. použijte      ikonu pair markers, odečtěte      vzdálenost píků, která odpovídá hloubce vrypu

Otázky a úkoly:

1. do      úvodní části protokolu uveďte možnosti využití mikroskopie atomárních sil      v litografii
2. vysvětlete      čím je determinováno rozlišení v nekontaktním módu mikroskopie      atomárních sil (Bustamante, Keller)
3. určete      vzdálenost mezi snímanými body při jednotlivých velikostech měřených      skenů, určete také rychlost posunu rastrovací sondy při skenování těchto      skenů rychlostí 1Hz
4. do      výsledkové části protokolu vložte obrázek skenované mřížky, určete vzdálenost      mezi jednotlivými vrypy jednak ze skenovaného obrázku jednak pomocí      software Nova, NT MDT.
5. určete      počet vrypů na 1mm
6. odečtěte      hloubku vrypu jednak ze skenovaného obrázku, jednak pomocí software Nova, NT MDT
7. v závěru      porovnejte naměřené hodnoty s deklarovanými hodnotami od výrobce,      případné rozdíly vysvětlete