Hmotnostní spektrometrie pro analýzu plazmatu. Přístroj Hiden EQP 300.

Obsah praktika:

1. RGA analýza
2. Ionizační účinný průřez pro srážku atom – elektron
3. Ionty v plazmatu – vznik a chování
4. Izotopy
5. Rozprašování terčů ionty – energie iontů
6. Energie iontů v plazmatu – mechanizmy předávání
7. Vliv extrakčního napětí na energie iontů dopadající na elektrodu
8. Vliv tlaku na energie iontů – srážkové procesy
9. Vliv výkonu na rozprašování

Optická emisní spektroskopie:

nebude z technických důvodů procvičována.