Stručná anotace předmětu
Přednáška navazuje na kurzy fyziky plazmatu.
Studenti se v tomto kurzu budou zabývat detailně metodami charakterizace plazmatu a k tomu příbuznými tématy.
Jednotlivé metody budou stručně charakterizovány včetně vlastností, použitelnosti, omezení atd. V pochopitelně v různých druzích výbojů se zaměřením na nízkotlaké plazmové technologie (magnetronové metody, plazmo-polymerační postupy).
Cílem je uvedení studentů do problematiky v rozsahu potřebném pro další samostatnou práci.
Převážná část metody bude také prakticky použita v rámci praktika. V první řadě se studenti zaměří základy těchto metod:
1. Langmuirova sonda, včetně úlohy v praktiku
2. Optická emisní spektroskopie, včetně úlohy v praktiku
3. Iontová hmotnostní spektrometrie, včetně úlohy v praktiku
4. Optická měření pomocí laserů (Laser-induced fluorescence, atd)
5. Nepřímé metody sledování dějů v plazmatu – proud na, napětí na magnetron,
6. Nepřímé metody zejména pro polovodičový průmysl (Self Excited Electron Plasma Resonance Spectroscopy, atd.)
7. Další metody použitelné pro sledování dějů v plazmatu a na exponovaných površích – elipsometrie, křemenné krystaly, atd.
Studijní literatura a studijní pomůcky
Michael A. Lieberman Allan J. Lichtenberg, Principles of Plasma Discharges and Materials Processing, DOI:10.1002/0471724254, 2005 John Wiley & Sons, Inc.
Příručky a aplikační listy výrobců experimentálních zařízení pro jednotlivé metody
Otázky ke zkoušce
- Langmuirova sonda – principy a využití
- Optická emisní spektroskopie – principy a využití
- Iontová hmotnostní spektrometrie – principy a využití
- Laser-induced fluorescence – principy a využití
- Nepřímé metody sledování dějů v plazmatu
- Self Excited Electron Plasma Resonance Spectroscopy – principy a využití7
- Plazmatem vyvolané změny na površích a jejich sledování
Student si vždy vylosuje dvě otázky.