Vakuová fyzika pro plazmové a diagnostické metody

Stručná anotace předmětu

Přednáška je zaměřena na osvojení pokročilejších znalostí z vakuové fyziky a techniky zaměřených na realizace plazmových systémů a ultravakuových aparatur. V první části přednášek budou stručně shrnuty základy vakuové fyziky pro posluchače se základními znalostmi z předchozího studia, posluchači si připomenou základní jevy kinetická teorie plynů, difúze, efúze, sorpce a desorpce – vypařování, přenos energie a proudění plynů. Tyto poznatky pak budou aplikovány na základní typické stavební prvky vakuových systémů vývěvy, měrky, průtokoměry, průchodky, přenos pohybu do vakua, manipulátory, atd.
V další části se přednáška zaměří na specifika platná pro laboratorní i průmyslové systémy pro plazmové procesy a to i kontinuální systémy. Tyto znalosti si pak ověří v praktiku a při vlastní experimentální práci.
V závěrečné části přednášek se studenti seznámí s problematikou ultravakuových systémů, jejich specifickou konstrukcí a obsluhou. Část přednášek bude věnována problematice urychlovačů jako příkladu ultravakuových systémů velkého rozsahu a vakuové hygieně se vztahem na depoziční systémy a ultravakuové aparatury.

Studijní literatura a studijní pomůcky
 Dr. Walter Umrath, Fundamentals of Vacuum Technology, Leybold Vacuum, Kat.-Nr. 199 90
 P. A. Redhead, HISTORY OF VACUUM DEVICES, CERN ACCELERATOR SCHOOL VACUUM TECHNOLOGY, PROCEEDINGS, SNEKERSTEN, DENMARK, 1999

Otázky ke zkoušce:

  1. Fyzikální a chemická adsorpce – síly, které ji způsobují
  2. Metody desorpce plynu pro dosažení nízkých tlaků
  3. Transportní vývěvy – 2 zástupce popsat
  4. Vývěvy s přenosem impulsu – 2 zástupce popsat
  5. Sorpční vývěvy – 2 zástupce různých fyzikálních principů popsat
  6. Ionizační vakuometry- princip a konstrukce
  7. Tepelné vakuometry – princip a konstrukce
  8. Viskózní vakuometry, princip a konstrukce
  9. Netěsnosti a metody hledání
  10. Ventily – druhy a použití ve vakuové technice
  11. Řízení průtoku plynu – principy a možnosti
  12. Ultra vakuum a jeho specifika

Vždy vylosované 2 otázky.